《冷等离子体生物处理装置》

技术简介：

本发明涉及一种冷等离子体生物处理装置,包括形成真空腔体的筒体,所述的筒体壁上开设有进料口、出料口以及抽真空口,抽真空口通过管道连接有真空泵,筒体内设有一对上下平行布置的放电极板,所述放电极板通过射频输出线连接射频源,位于所述放电极板之间设有传送生物种子的传送带,筒体侧壁开设有安装真空规管的真空测量口,所述的放电极板形成的辉光放电区中间位置设有喷射口朝向辉光放电区的陶瓷蜂巢喷嘴,所述的陶瓷蜂巢喷嘴连接有通入工作气体的进气管。本发明将喷射工作气体的陶瓷蜂巢喷嘴设在放电极板形成的辉光放电区中间位置,在辉光放电区产生弥散气体,增强光密度瞬间的均匀性,解决了原先光密度滞后的问题,进一步提高了加工品质。

研发人员：朱劼;陈群;邵汉良;易霞;雷廷宙;李霞章;周政忠