《一种VCSEL半导体激光器阵列近场发光孔检测装置及方法》

技术简介：

本发明属于半导体激光器测试技术领域,提出了一种VCSEL半导体激光器阵列近场发光孔检测装置及方法,对VCSEL半导体激光器腔面光斑进行自动采集和识别,通过探针引脚和步进指令控制的晶圆托盘,实现自动的精确触发方式,相比传统的手动调节节省大量时间,自动化程度高,降低了由于人工操作带来的误差；基于Mask RCNN网络提取多张近场图像特征,对每张图像中各发光孔进行实例分割,使用不同型号的VCSEL半导体激光器数据集训练,提高了VCSEL半导体激光器近场各发光孔质量判断的准确性。

研发人员：杨长春;张力维;孟天霜;王彭