《一种用于多晶硅的循环氢气的提纯方法》

技术简介：

本发明属于多晶硅生产领域,具体涉及一种用于多晶硅的循环氢气的提纯方法。包括如下过程：S1：将氢气进行预净化处理；S2：将预净化氢气引入提纯装置,沿第一方向流入选择性吸氢材料,并在选择性吸氢材料中位于垂直于第一方向的两平面间流通,且在经过选择性吸氢材料后流出提纯装置；S3：当吸附的氢气达到饱和后,吸氢过程结束,并对提纯装置进行吹扫；S4：降低提纯装置内的压力,或提高选择性吸氢材料的温度,使选择性吸氢材料脱附释放出高纯氢气并收集。通过在尺寸一定的提纯装置内大幅度提高气体吸附通道距离,提高吸附效率。该方法不需要采用压缩机,就能够提高纯净氢气的压力,满足了生产的要求,节省了压缩机的动力消耗,降低了能耗。

研发人员：李绿洲;丁建宁;袁宁一;董旭;王海范;倪永良