《基于变步长局域电沉积法的纺锤形微铜柱制备》

技术简介：

针对变截面微柱的局域电沉积制备开展了实验与仿真模拟,采用直径100μm的阳极针尖,通过改变连续提拉的步长制备了平均直径从92～293μm不等的自支撑微铜柱,探讨了提拉步长与铜柱直径的关系,进而提出了一种变步长局域电沉积方法,并成功制备了中部最大直径为164μm的变截面纺锤形微铜柱,同时利用COMSOL软件建立了数值仿真模型,分析了纺锤形铜柱形成的原因,可为基于局域电沉积法的复杂微结构制备提供参考。

研发人员：坎标;徐盛松;丁建宁;顾迪;韩建;