《基于浮动催化法化学气相反应的微纳米结构直写装置》

技术简介：

本发明涉及一种基于浮动催化法化学气相反应的微纳米结构直写装置,包括微型反应器,所述微型反应器底端连接有喷嘴,喷嘴下方设有收集微纳米结构的收集板,微型反应器顶端安装有进料管,进料管顶部连接有加入反应原料的注料微管,还具有加热微型反应器内部的电热丝。本发明通过利用微型反应器,将整个浮动催化法化学气相反应微缩在微型反应器中,可以直接将线宽小于十纳米到几十微米的纳米结构写在电路板上,相比于传统的浮动催化法化学气相反应,省去了纺丝收集,再转移到电子基板等的中间环节,并且这样直写的微纳米结构具有表面光滑、导电良好和线宽更小等优点。

研发人员：弓晓晶;李亚利