《一种镍酸镧定位替代的钛酸铋合金薄膜及其制备方法》

技术简介：

本发明属于铁电材料技术领域,具体涉及一种镍酸镧定位替代的钛酸铋合金薄膜及其制备方法,该合金薄膜包括：表面为二氧化钛TiO2的单晶(001)钛酸锶衬底；钛酸铋陶瓷、镍酸镧陶瓷的靶材交替沉积在衬底上形成的薄膜。制备方法为：清洗衬底；将两陶瓷靶材和衬底置于真空腔；将腔体抽真空,加热衬底,先在SrTiO3(001)面上生长钛酸铋薄膜,然后转动公转靶至陶瓷镍酸镧靶,沉积镍酸镧薄膜,不断转动公转靶交替重复沉积钛酸铋薄膜和镍酸镧薄膜,得到复合薄膜；实现La替代(Bi2O2)2+层中的Bi,Ni替代(Bi2Ti3O10)2-层中Ti,得到镍酸镧定位替代的钛酸铋定位替代合金铁电薄膜。

研发人员：曹先胜;吉高峰