技术简介：
本发明属于半导体材料技术领域,具体涉及一种微纳米结构铁酸铋光伏器件的制备方法。该方法利用飞秒激光表面织构技术在衬底表面制备微纳米结构,通过磁控溅射方法制备BiFeO3薄膜和电极,利用飞秒激光在衬底摆动状态下对薄膜实现激光晶化。本发明通过衬底表面微纳米结构的制备以及调控BiFeO3薄膜的晶粒尺寸,提高了BiFeO3薄膜光伏器件的光电转换效率。
研发人员：邱建华;陈召;丁建宁;袁宁一;陈智慧;王秀琴