技术简介：
本发明公开了一种制备复合薄膜的装置,包括真空系统、生长腔、加热器、蒸发源,其特征在于,所述蒸发源通过法兰盘固定到生长腔上；所述加热器采用双加热头,可分别适应CVD生长以及MBE生长；所述真空系统由多级泵组组成,实现超高真空。该套装置操作简单,可以实现复合薄膜的大规模生产。
研发人员：董国材;储富强