一种非晶纳米线与多孔薄膜的原位可操控键合方法

   发布时间: 2022-08-13    访问次数: 13

《一种非晶纳米线与多孔薄膜的原位可操控键合方法》

技术简介:

本发明公开了一种非晶纳米线与多孔薄膜的原位可操控键合方法,将纳米线分散到具有多孔薄膜结构的透射电镜(TEM)样品上,之后放入TEM,选取自由端突出到多孔薄膜孔洞中的纳米线片段,TEM的观察下按“纳米线削尖—纳米线弯钩—纳米线键合”工艺进行键合处理。本发明利用透射电镜中高能电子束有针对性辐照,实现了非晶纳米线的削尖、弯钩,并最终与多孔薄膜高质量键合在一起,具有原位、灵活可操控、高精度、低温键合等优点。


研发人员:苏江滨;吉高峰;王智伟;马骥;何祖明;唐斌;蒋美萍