《一种高导电顺排碳纳米管纺丝连续生产设备及制造方法》

技术简介：

本发明涉及一种高导电顺排碳纳米管纺丝连续生产设备及制造方法,包括依次排列的进样系统、金属催化膜制备系统、碳纳米管生长系统以及拉膜镀膜纺丝卷绕系统,金属催化膜制备系统与碳纳米管生长系统之间设有纳米结构过渡系统,碳纳米管生长系统与拉膜镀膜纺丝卷绕系统之间设有转移过渡系统。本发明利用机械手传送硅片,将催化剂制备、顺排碳纳米管阵列的制备以及拉膜纺丝卷绕,串联起来实现连续化生产,反应腔室采用全真空平面结构和局部加热,气流方向、气体浓度梯度和温度梯度与顺排碳纳米管阵列的生长方向一致,有利于提高阵列生长质量,扩大工艺窗口。反应生长碳管的腔室材料不用石英管,采用金属材料,加工容易,腔室的直径也很容易做大。

研发人员：丁建宁;袁宁一